加工工藝
始終推動工藝升級 讓科技轉變?yōu)楝F(xiàn)實
量產(chǎn)工藝 lithoXetch??
超透鏡采用半導體工藝加工，但具體方法和流程與芯片等傳統(tǒng)半導體產(chǎn)品不同，邁塔蘭斯?經(jīng)過長期探索，提出一套針對超透鏡的量產(chǎn)工藝lithoXetch??，其中包括cutjump??等具體方法，并以此為基礎完成了相關產(chǎn)品的量產(chǎn)。
小批量試產(chǎn)工藝EBLitho??
在使用量產(chǎn)工藝完成產(chǎn)品交付前，邁塔蘭斯?針對客戶需求，首先采用小批量試產(chǎn)工藝EBLitho??，完成產(chǎn)品的demo交付，保證產(chǎn)品的可靠性。
超透鏡增透膜技術metaarc?
為解決超透鏡透過率低的問題，邁塔蘭斯?提出針對超透鏡的增透膜設計技術metaarc?，設計時采用恒相益光?、占空光數(shù)?、勻償?等技術，形成新的膜系設計方法和鍍膜工藝，將透過率大大提高。
先進超表面加工
對于特殊超表面的加工與封裝，邁塔蘭斯?同樣具備相應方法，例如曲面超表面加工工藝curvelitho??、基于超透鏡的晶圓級封裝工藝WLPmeta??、階基?、曲基?等。
